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PDS/PH10 コンパチブル
メカニカルプローブの見事なバリューサプリメント
プロ―ビング速度に依存しない高精度の計測
計測面の光学的特性に完全自動調整
曲面およびエッジのプロ―ビング
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計測原理:
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光源(OTP-DD: 発光ダイオード、OTP6-LD:
レーザーダイオード)からライトビーム(1)が計測面(2)に向って放出されます。
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可能な限り小さく、且つ、密度の最も高い計測スポット(3)にライトビームが凝集されます。
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計測面から反射されるライトビームは光に反応するセンサー(4)で受け留められます。
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放出されるライトビームと受け留められる光信号とが成す角度で計測点を決めます(三角法/triangulation)。
Wolf&Beckの光電子プローブはレシーバーが輪形をしており、放出されたビームは同心的に収集されます(円形三角法/circular tiangulation*)。
* Circular triangulationはWolf&Beck社の特許計測手法です。
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システムの特徴:
全方向から計測スポットを観察して計測値を光学的に平均化
高精度(傾斜のある曲面でも)
エッジや溝(7)で部分的に影ができても計測結果に影響しません(反射ビームを受け留めた円形レシーバーの残りの部分(8)で十分に計測が可能)
計測面からの反射が弱まっても放出する光の強度を上げることによって、動的な明るさのレンジが計測面の違いによる反射の特性の違いの大部分を補正
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応用例:
長所:
(注*)OTPプローブはWolf&Beck社の製品です。
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